它利用高能量聚焦脈沖激光光束激發樣品表面，對產生的原子光譜進行分析得到對應元素成分及含量。是一種快速、定性定量的分析手段。隨著激光器以及光譜儀小型化技術的發展，輕便的手持LIBS光譜儀成為現實。基于激光誘導擊穿光譜（LIBS）技術，廣泛用于地質、環境、制藥、陶瓷、耐火材料、水泥、煤炭、無機化工、冶金等行業領域，是物質元素成分分析的歷史性變革。

　　激光誘導擊穿光譜分析儀的優點有：可以在線測量，無需制作樣品或者預處理，測量無損，兼具快速、多元素同時測量、高靈敏度等優點。它在定性測量方面優勢明顯，快速且準確度高，但是定量測量相對較為薄弱。

　　

　　該技術通過超短脈沖激光聚焦樣品表面形成等離子體，進而對等離子體發射光譜進行分析以確定樣品的物質成分及含量。超短脈沖激光聚焦后能量密度較高，可以將任何物態（固態、液態、氣態）的樣品激發形成等離子體，LIBS技術（原則上）可以分析任何物態的樣品，僅受到激光的功率以及攝譜儀＆檢測器的靈敏度和波長范圍的限制。再者，幾乎所有的元素被激發形成等離子體后都會發出特征譜線，因此，LIBS可以分析大多數的元素。如果要分析的材料的成分是已知的，LIBS可用于評估每個構成元素的相對豐度，或監測雜質的存在。